该晶圆创造厂隶属于华北地区划分,主耍产量8厘米光电器件晶圆,单日废水处理工艺废气量约800吨。鉴于产量期间中在使用过多氢佛酸通过晶圆蚀刻,以至于废水处理工艺中氟化物溶度多达200-300mg/L,远超各国废气标准的(10mg/L接下来)。
污废水 化学成分及特征
电镀废水大部分来于这三个环节:
晶圆蚀刻制作工艺
:含ab剂值氟化物(HF)、盐酸及极富巨资属
化学上的设备打磨(CMP)废渣
:含nm级硅科粒、有机的络合剂
的设备清洁工作化工废水
:含异丙醇、氯离子等可挥发物
加工处理流程步骤流程步骤
用到"化学物质石雕文化悠长岁月中+混凝土石雕文化悠长岁月中+长度过滤器"三阶段补救系统:
五级清理
:添加氯化钙和氢腐蚀钙,养成氟化钙析出,氟化物避开率达85%
中级治理
:获取PAC(缔合氯化铝)和PAM(PP酰胺),快速清理胶体溶液态污染源物
三阶段治理
:凭借多有机溶剂油烟净化器器和物理吸附性炭物理吸附,出水出水氟化物浓度值稳定的在8mg/L下面的
至关重要设施设备还包括:pH自然设定模式、斜管沉淀物池、板框过滤机(污泥干化脱水器)。
最终能够郊果
产品开机运行两年探测信息提示 :
氟化物人均浓硫酸浓度:7.2mg/L(高出国度规定)
COD删去率:92%
污水含水量率:≤65%
年回收处理氟化钙副厂品约150吨,构建自然无害化巧用