某半导体电源芯片电源芯片生产厂在晶圆手工加工具体步骤中，在使用硅烷完成硅外延性生张，排放洗條塔所产生高溶度含硅废气。废气有pH震荡大（2-11）、硅纯度高的基本特征，传统意义净化处理技巧易展现硅垢堵塞了故障。 废污水组成成分及种类 废液主要因素为： 降解性硅酸盐 ：SiO₂溶度达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢硫化钠 ：洗衣机清洗塔酸碱度洗衣机清洗液残余 颗粒状硅 ：奈米级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 ：原石溶物带 治疗加工方法 多元化运用"多级采和+膜净化+减压蒸馏沉淀"加工过程： 两级采和 ：用CaO调准pH至4-5，合成硅酸钙放置，硅快速清理率60%。 五级结合 ：加Na₂CO₃将pH发展至9，进一次乳浊液累计硅，电容串联用镁剂除砷。 超滤膜软件系统 ：0.02μm瓷器膜吸附奈米级硅顆粒，通量相对稳定在80LMH。 MVR多效空调冷凝器 ：溶缩高盐生活污水，晶体出Na₂SO₄副厂品，水回收利用率超90%。 最终能够功能 总硅从1500mg/L减至5mg/L这 砷占比从0.8mg/L降为0.01mg/L 软件系统无水垢电脑运行超越2年 第二年出售氢氧化钠钠单晶体约800吨