某半导生产加工厂家因晶圆擦拭流程引发含氨焦化废水，储水量200吨/天。焦化废水里面除氟化物外还含带氟化物和氢化物发生器高价属，操作一定难度大。各地进行排放原则规范氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 工业废水组分及因素 晶圆洗废水处理工艺（最主要收入）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀程序化工废水：含微量分析铜、镍等血本属，pH值冲击大 CMP磨细废水处理方法：含硅颗粒肥料及氯离子 清理方法工作流程 利用"耐腐蚀放置+膜分割+折点氯化"组和方法： 预净化处理 ：加药系统CaCl2除氟，有效控制pH在7.5-8. 反渗透膜系統 ：剔除0.01μm这些小型颗粒物物 反融合浓缩液 ：将挥发酚沉淀至1000mg/L上 折点氯化 ：精确度管理氯加药系统量，将高锰酸盐指数流量转化为离氮气 阴离子互转 ：安全保障天价属及格 终于感觉 高锰酸盐指数安稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属分量底于在线检测限 水回收利用率达75% 活性污泥产生量减小40%