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半导体厂含砷废水处理案例

杭州某半导体设备单位低渗透压含砷生活污水外理项目流程(阳离子更换的深度除砷加工过程) 一、好项目背景图 扬州某半导体技术的品牌细心砷化镓晶片打孔、蚀刻与磨研流程,出产具体步骤中引起低酸度含砷清扫冲洗污废水 ,日工作量 120m³(5m³/h)。源水污水水质:总砷 0.4-0.6mg/L(评均 0.5mg/L)、pH 6.5-7.5、飘浮物 50-80mg/L、含少量氟铁离子与磷酸。职业尾气排放标准规范决定标准规范(GB 39731-2020)总砷允许值 0.5mg/L,的品牌内控标准规范≤0.01mg/L,中国道德文化学发展法喷水跌涨大、其特性很难增强达到标准,且生活污水干化产出量高,需开拓高精准度、低生活污水干化的工作施工工艺。 二、加工过程确定与设计方案 经小试相比较电化学沉垫、吸咐、阴亚铁离子互转等方法,之后采用了机过滤水 + 可溶性炭吸咐 + Tulsimer A-62MP 防化阴亚铁离子互转聚酯树脂组合构成方法,管理处优缺点为处理gps精更高、运营安全稳定、生活污水量稀少、自主化程更高。 机械性滤水模块:主要包括石英晶体砂滤水器,洗去废水里面的漂浮物、氢氧化铁粒状及的部分大原子核有机酸物,入水阻力 0.2-0.3MPa,滤水流体密度 8m/h,截流颗粒直径≥20μm,解决沉渣堵塞了事件调查硅橡胶,调低硅橡胶的污染效率。 可溶性炭过滤物单元测试:配用柱型椰壳可溶性炭(碘值≥1000mg/g),过滤物自来水中少量生产物、余氯及位置砷的络合行态,进步骤静化水污染,保护好亚铁离子对调树脂材料,过滤物遇到用时 30min,可溶性炭充填量 1.2m³,每 3 三个月恢复一次性。 阴阴阳铝离子传递单园:管理的本质为 Tulsimer A-62MP 大孔强碱性性阴阴阴阳铝离子传递树酯胶,该树酯胶对砷酸根(AsO₄³⁻)、亚砷酸根(AsO₂⁻)具备高选泽性物理吸附实力,受到长规阴阴阴阳铝离子(Cl⁻、SO₄²⁻)干忧。树酯胶填补量 2.5m³,传递柱半径 1.2m、非常 2.4m,反击式水轮机留时 15min,开机运行水流量 5m/h;树酯胶过饱和后用 4% NaOH 水溶液机体净化利用利用,机体净化利用利用液需水量为树酯胶量的 2 倍,机体净化利用利用时 4h,机体净化利用利用后用温水清洗至普通,无限循环动用,机体净化利用利用阶段约 7 天。 三、全面操作方案 废水处理处理工艺提取:产生含砷废水处理处理工艺经管道汇往调整池,均质均量,调整池行之有效容积怎么算 50m³,等待时光 10h,池内设立爆气绞拌系统,防范浮悬物凝固,稳定的取水污水水质储水量。 机械设备滤过:调试池焦化废水经泵加强至熔融石英砂滤过器,的还原悬浮物按钮物后,水流悬浮物按钮物≤5mg/L,水自流入渗透性炭过滤罐。 离心分离性炭离心分离:废气与离心分离性炭加以学习,的还原生物碳物与残渣后,出液打开铁离子交互柱,开展的深度除砷。 铁阴离子互换除砷:生活污水从上到下最长的河流环氧光敏聚酯树脂层,砷酸根、亚砷酸根与环氧光敏聚酯树脂上 Cl⁻情况互换反應,砷铁阴离子被环氧光敏聚酯树脂溶解,出液总砷≤0.01mg/L,达到标准后工业废水处理至研发生产工艺或减排。 光敏不饱和聚酯树酯回收:当溢水砷氨水浓度>0.008mg/L 时,开机启动回收程序流程图:先反洗(青水自下而上消毒光敏不饱和聚酯树酯层,出掉表皮硫氰酸盐,反洗气速 10m/h,时光 15min)→回收(4% NaOH 悬浊液遵循原则流过光敏不饱和聚酯树酯层,冲刷掉吸咐的砷铝离子,回收气速 2m/h)→正洗(青水遵循原则消毒光敏不饱和聚酯树酯,出掉残余回收液,正洗气速 5m/h,时光 30min)→预备,回收电镀废水获得后一起处理,以防再次水污染。 四、运动效用与数据资料分折 品牌间断性程序运行 12 三个月,每项公式不稳达到,目标数据文件以下的: 接触不良总砷:0.4-0.6mg/L(均匀 0.5mg/L); 出水量总砷:0.003-0.008mg/L(的平均 0.005mg/L),清掉率≥99%; 喷水 pH:6.8-7.2,复合中水回用标准化; 聚酯树脂粉碎能力周期性:7±1 天,粉碎能力液砷含量约 15-20mg/L,粉碎能力废气经物理积淀进行处理后达到废气; 废水处理产能:仅为傳統化学沉积法的 5%,适度缩短废水处理加工成本投入。 五、制造费与效果定性分析 投資生产成本:总投資 180 余余亿元,至少设配费 120 余余亿元(进行过滤罐、粘附罐、阴离子变换柱、泵、测控操作系统等)、安转费 30 余余亿元、调试程序和其他预算 30 余余亿元。 自动运行成本费用:约 2.8 元 /m³,是指硅胶粘合剂消耗的资金(0.5 元 /m³,硅胶粘合剂食用寿命短 3-5 年)、药液费(0.8 元 /m³,NaOH、稀盐酸等)、电价(0.6 元 /m³)、人工控制及运营费(0.9 元 /m³)。 盈利能力:喷水稳定性高符合内控规格,避免出现坏保超预算风险分析;正确处理后电镀废水的回收利用利用率达 80%,年节约用电杭州自来水材料费约 40 来万;污泥处理处理减量化 95%,年减小污泥处理处理治理材料费约 25 来万,综和年净收入约 60 来万,投资的的回收利用期 3 年。 六、成功案例汇总 本顶目对於半导体设备低氧化还原电位含砷污水 “低氧化还原电位、高误差标准、水体质量缜密” 特质,选择化合物交換团体加工过程,完美解决办理传统意义加工过程喷水喷水动荡、生产废水办理方法量大的困惑。加工过程一键化限度高,操作步骤简便计算,作业固定,除砷功效优秀,喷水喷水总砷固定≤0.01mg/L,一起完成污水循环与生产废水办理方法减量化,包括生态高效益分析与城市发展高效益分析,为电子元器件制造业低氧化还原电位含砷污水深浅办理打造可重复的技巧方案格式。

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